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J-GLOBAL ID:200902054954883030   整理番号:88A0056759

走査レーザビームによる複雑な組成の物質の真空蒸着の研究

Investigation of the vacuum evaporation of substances of complex composition by a scanning laser beam.
著者 (4件):
資料名:
巻: 53  号: 10  ページ: 589-591  発行年: 1986年10月 
JST資料番号: H0664A  ISSN: 0038-5514  CODEN: SJOTBH  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標題の研究結果を示した。適切な放射パラメータと走査速度の選択...
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分類 (2件):
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薄膜成長技術・装置  ,  レーザの応用 

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