レーザ干渉変位計の高分解能化の一案

文献

J-GLOBAL ID：200902056108839012 整理番号：87A0082509

An idea for upgrading resolving power of laser interference displacement gauge.

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資料名：
巻： LAV-86 号： 18-30 ページ： 105-113 発行年： 1986年11月21日
JST資料番号： Z0953A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

微小変位の測定にはレーザ干渉法が用いられるが,これにはビート...

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 , レーザの応用

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