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J-GLOBAL ID：200902056355937434   整理番号：85A0190345

イオンビームによる表面改良の基礎知見 欠陥の生成と移動の過程

Fundamental aspects of ion beam surface modification: Defect production and migration processes.

著者 (3件)： REHN L E (Argonne National Lab., IL) ,  AVERBACK R S (Argonne National Lab., IL) ,  OKAMOTO P R (Argonne National Lab., IL)
資料名： Materials Science and Engineering  (Materials Science and Engineering)
巻： 69  号： 1  ページ： 1-11  発行年： 1985年02月 
JST資料番号： D0589A  ISSN： 0025-5416  CODEN： MSCEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン注入においては,注入種ばかりでなく,幾つかの欠陥の生成...

シソーラス用語： イオン注入 ,...
準シソーラス用語： イオンビームミキシング

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分類 (3件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  金属の格子欠陥  (BK12030F) ,  金属中の拡散  (BL06022C)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオンビーム ,  表面改良 ,  基礎 ,  欠陥 ,  過程