電磁表面波の伝搬に基づいたプラズマ源

MOISAN M; ZAKRZEWSKI Z

文献

J-GLOBAL ID：200902056392356522 整理番号：91A0719395

電磁表面波の伝搬に基づいたプラズマ源

Plasma sources based on the propagation of electromagnetic surface waves.

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巻： 24 号： 7 ページ： 1025-1048 発行年： 1991年07月14日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

表面波プラズマ源の作動原理とその設計法について概説した。この...

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プラズマ装置,核融合装置

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