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J-GLOBAL ID：200902058557105158   整理番号：90A0635230

有機金属気相エピタクシ用垂直反応器中の輸送現象 I 熱伝達特性,反応器形状および操作条件の影響

Transport phenomena in vertical reactors for metalorganic vapor phase epitaxy. I. Effects of heat transfer characteristics, reactor geometry, and operating conditions.

著者 (3件)： FOTIADIS D I (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  KIEDA S (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  JENSEN K F (Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts, USA)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 102  号： 3  ページ： 441-470  発行年： 1990年05月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直MOVPE反応器中の輸送現象の二次元および三次元の有限要...

シソーラス用語： MOCVD ,...
準シソーラス用語： MOVPE

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分類 (1件)： 結晶成長技術・装置  (BK13020B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 有機金属気相エピタクシ ,  反応器 ,  輸送現象 ,  熱伝達特性 ,  操作条件