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J-GLOBAL ID:200902059039683179   整理番号:91A0273207

精密除振装置のアクティブコントロール

Active control of precision vibration isolation system.
著者 (5件):
資料名:
巻: 57  号: 534  ページ: 521-526  発行年: 1991年02月 
JST資料番号: F0045B  ISSN: 0387-5024  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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1nmを目標精度とする精密機器の,床からの振動を絶縁するため...
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分類 (1件):
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振動伝搬 
引用文献 (2件):
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