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J-GLOBAL ID：200902059817576121   整理番号：87A0377384

特集:次世代半導体製造装置 最近のMOCVD装置の動向

Special article: Next-generation semiconductor production system. Trend of the recent MOCVD system.

著者 (3件)： 立田利明 (サムコインターナショナル研) ,  小川雅人 (サムコインターナショナル研) ,  辻理 (サムコインターナショナル研)
資料名： 月刊Semiconductor World  (月刊セミコンダクターワールド)
巻： 6  号： 5  ページ： 146-149  発行年： 1987年05月 
JST資料番号： Y0509A  ISSN： 0286-5025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MOCVD法における装置開発上で特に工夫を要した点,および2...

シソーラス用語： MOCVD ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 次世代 ,  半導体製造装置 ,  MOCVD ,  動向