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J-GLOBAL ID：200902060079418077   整理番号：91A0132245

しまパターン投影式自動焦点合わせ法

Automatic focusing method using stripe pattern projection technique. (2nd report). Subjects and countermeasures for practical use.

著者 (3件)： 秋山伸幸 (日立) ,  牧平坦 (日立) ,  中田俊彦 (日立)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 12  ページ： 2273-2279  発行年： 1990年12月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高速移動中のウエハ上にしまパターンを投影して焦点を合わせる手...

シソーラス用語： 誤差 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• 1) 中田 修 : タムロン顕微鏡用オートフォーカス装置, 写真工業, 44, 3 (1986) 95.
• 2) 押田良忠ほか : 印刷回路パターンの非接触膜厚自動測定装置の開発, 第19回SICE学術講演会論文集, No. 1606 (1980) 167.
• 3) 大島良正, 伏見 智, 原 靖彦 : 半導体ウエハ (アルミパターン) に適用可能な光学的自動焦点合わせ法, 第22回SICE学術講演会論文集, No. 1707 (1983) 223.
• 4) 秋山伸幸, 牧平 坦, 中田俊彦 : しまパターン投影式自動焦点合わせ法 (第1報), 精密工学会誌, 56, 7 (1990) 1304.
• 5) 石橋頼幸, 田畑光雄, 東条 徹 : PSDを用いた光斜入射型位置検出器, 昭和61年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, No. 335 (1986) 741.

タイトルに関連する用語 (2件)： しま ,  自動焦点合わせ