電子エネルギー損失スペクトルによる炭化水素プラズマ生成炭素薄膜の研究

FINK J; MUELLER-HEINZERLING TH; PFLUEGER J; SCHEERER B; DISCHLER B; KOIDL P; BUBENZER A; SAH R E

文献

J-GLOBAL ID：200902060091560148 整理番号：85A0101711

電子エネルギー損失スペクトルによる炭化水素プラズマ生成炭素薄膜の研究

Investigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon films by electron-energy-loss spectroscopy.

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著者 (8件)：

FINK J

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KOIDL P

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資料名：

Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics (Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)

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巻： 30 号： 8 ページ： 4713-4718 発行年： 1984年10月15日
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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