Pd/PtゲートMISFETの水素吸着エネルギー

文献

J-GLOBAL ID：200902060202755776 整理番号：86A0419036

Hydrogen adsorption energy of Pd/Pt gate MISFET.

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資料名：
巻： 6th ページ： 67-68 発行年： 1986年
JST資料番号： Y0484A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Pbゲートガスセンサは,水素ガスに対して選択性があり,感度も...

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トランジスタ , 化学プロセスの測定,監視,計装

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