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J-GLOBAL ID：200902060662441745   整理番号：84A0074362

アルゴン-シラン放電のラジカル種

Radical species in argon-silane discharges.

著者 (4件)： ROBERTSON R ,  HILS D ,  CHATHAM H ,  GALLAGHER A (National Bureau of Standards, Colorado)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 43  号： 6  ページ： 544-546  発行年： 1983年09月15日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ar-SiH₄混合放電中の表面における...

シソーラス用語： アルゴン ,...

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分類 (2件)： 荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (3件)： アルゴン ,  シラン ,  放電