よどみ点フロー中のCVD  旧来の1D取扱いの評価

HOUTMAN C; GRAVES D B; JENSEN K F

文献

J-GLOBAL ID：200902060882814836 整理番号：86A0405469

よどみ点フロー中のCVD 旧来の1D取扱いの評価

CVD in stagnation point flow. An evaluation of the classical 1D treatment.

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資料名：
巻： 133 号： 5 ページ： 961-970 発行年： 1986年05月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

広い面積で膜厚と組成の均一性を得るためおよび反応速度論実験の...

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薄膜一般

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