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文献
J-GLOBAL ID:200902062319123374   整理番号:92A0608996

水素電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマによるAlGaAs基板の表面浄化

Surface Cleaning of AlGaAs Substrates by Hydrogewn Electron Cyclotron Resonance(ECR) Plasma.
著者 (3件):
資料名:
巻: 31  号: 7B  ページ: L913-L915  発行年: 1992年07月15日 
JST資料番号: F0599B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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発散磁場を利用してプラズマを基板に導入した。その場反射型高速...
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分類 (1件):
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半導体の表面構造 
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