Cu/PtSi,Cu/SiおよびAl/PtSi構造の障壁としてのTa

CHANG C-A

文献

J-GLOBAL ID：200902063336157750 整理番号：91A0005841

Cu/PtSi,Cu/SiおよびAl/PtSi構造の障壁としてのTa

Ta as a barrier for the Cu/PtSi, Cu/Si, and Al/PtSi structures.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=91A0005841&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=91A0005841&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

著者 (1件)：
資料名：
巻： 8 号： 5 ページ： 3796-3802 発行年： 1990年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Cu-PtSi,Cu-SiおよびAl-PtSi反応に対する障...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=91A0005841&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

金属中の拡散 , 半導体-金属接触【’81~’92】

, , , ,

前のページに戻る