可視光を発光する多孔質シリコンの微小構造

COLE M W; HARVEY J F; LUX R A; ECKART D W; TSU R

文献

J-GLOBAL ID：200902063813370933 整理番号：92A0490502

可視光を発光する多孔質シリコンの微小構造

Microstructure of visibly luminescent porous silicon.

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資料名：
巻： 60 号： 22 ページ： 2800-2802 発行年： 1992年06月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Siウエハの電解エッチングによって作製される発光性多孔質Si...

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半導体薄膜

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