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J-GLOBAL ID：200902064249923451   整理番号：92A0721601

チップ上にMOSFET開閉器を備えたゆがみの小さい二次元位置に感ずる検出器(PSD)

A small-distortion two-dimensional position-sensitive detector (PSD) with on-chip MOSFET switches.

著者 (2件)： MORIKAWA Y (Nippon Steel Corp., Kawasaki, JPN) ,  KAWAMURA K (Shizuoka Inst. Science and Technology, Fukuroi, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 34  号： 2  ページ： 123-129  発行年： 1992年08月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 既存の正方形感応面の4隅に幅広いMOSFETゲート電極を取付...

シソーラス用語： MOSFET ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： MOSFET ,  ゆがみ ,  検出器 ,  PSD