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J-GLOBAL ID:200902064267935270   整理番号:91A0200742

薄い異方性導体の抵抗テンソルパラメータを6端子法によって測定する理論

A measuring theorem of the resistivity tensor parameters of thin anisotropic conductors by a six-probe method.
著者 (2件):
資料名:
巻: 110  号: 12  ページ: 927-928  発行年: 1990年12月 
JST資料番号: S0808A  ISSN: 0385-4205  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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4端子法が従来半導体技術における標準方法として広く使われてき...
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分類 (1件):
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回路理論一般 
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