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J-GLOBAL ID：200902064682438967   整理番号：93A0039967

レーザビーム描画装置の開発と応用

Development of Laser Beam Writer.

著者 (3件)： 恩田一 (エヌティエヌ) ,  浅原章伸 (エヌティエヌ) ,  藤井章二 (エヌティエヌ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 58  号： 11  ページ： 1837-1842  発行年： 1992年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年半導体製造分野においては,高密度化した素子の微細パターン...

シソーラス用語： レーザビーム ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 1) 高村 真, 大場良次;C.G.H.直接描画装置, 1990年SICE北海道支部学術講演会予稿集, (1990) 1.
• 2) 恩田 一 : 光ディスクマスタリング装置によるコンピュータホログラムの記録, 平成元年電気学会産業応用部門全国大会講演予稿集, (1989) 697.
• 3) 谷田貝豊彦, 斉藤弘義 : 計算機ホログラムとその応用, 精密機械, 47, 12 (1981) 1541.
• 4) 「特集マイクロメカニズム」, 精密工学会誌, 54, 9 (1988) 1625.
• 5) 「ミニ特集マイクロメカニズム」, 計測と制御, 28, 6 (1989) 479.

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザビーム ,  描画装置 ,  開発 ,  応用