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J-GLOBAL ID：200902064902605819   整理番号：84A0480825

せん断モードトランスジューサのためのスパッタ蒸着ZnO薄膜に及ぼすRFバイアスの影響

Effect of RF bias on sputter deposited ZnO films for shear mode transducers.
著者 (3件)：
KRISHNASWAMY S V

KRISHNASWAMY S V について

(Westinghouse, PA)

Westinghouse, PA について

, 
MCAVOY B R

MCAVOY B R について

(Westinghouse, PA)

Westinghouse, PA について

, 
MOORE R A

MOORE R A について

(Westinghouse, MD)

Westinghouse, MD について


資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)

Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium について


巻： 1983  号： 1  ページ： 531-534  発行年： 1983年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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超音波変換器

超音波変換器 について

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分類 (2件)：
分類
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圧電デバイス 
(NC03110I)

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(BB03060N)

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スパッタ蒸着

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ZnO薄膜

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, 
RFバイアス

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