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J-GLOBAL ID:200902065011234204   整理番号:86A0535066

可聴音のためのけい素センサ

Silizium-Sensor fuer Hoerschall.
著者 (1件):
資料名:
巻: 93  ページ: 165-169  発行年: 1986年 
JST資料番号: E0417A  ISSN: 0932-6022  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: ドイツ語 (DE)
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サブミニチュアけい素容量型マイクロホンの製造過程を説明し,変...
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