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J-GLOBAL ID：200902065673092191   整理番号：88A0390531

PVD・CVD技術による薄膜のハイブリッド化

Manufacturing of hybrid films by PVD and CVD technologies.

著者 (1件)： 荒谷雄 (日立 機械研)
資料名： 溶接学会誌  (Journal of the Japan Welding Society)
巻： 57  号： 4  ページ： 216-223  発行年： 1988年06月 
JST資料番号： G0090A  ISSN： 0021-4787  CODEN： YOGAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ハイブリッド材料の開発の現状を展望し,薄膜形成技法の要点を述...

シソーラス用語： 物理蒸着 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (36件)：

• 1) 橋本,町田;溶接学会誌, 56-3 (1987) 135
• 2) 藤森;溶接学会誌, 56-4 (1987) 211
• 3) 佐藤;溶接学会誌, 57-1 (1988) 49
• 4) 中井,政家,大坪ら;溶接学会誌, 57-2 (1988) ; 70-91
• 5) 雀部;金属, 56-6 (1986) 27

タイトルに関連する用語 (4件)： PVD ,  CVD ,  薄膜 ,  ハイブリッド化