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J-GLOBAL ID：200902065762712578   整理番号：88A0529603

特集:パターン作成工程の不良改善 写真法によるパターン形成テクニック

Special issue: Improvement of fault of the pattern generation process. Pattern generation technique according to the photographing method.

著者 (4件)： 宮崎義彦 (日本電気) ,  新隆士 (日本電気) ,  森崎源次 (日本電気) ,  馬庭亮 (日本電気)
資料名： 電子技術  (Electronic Engineering)
巻： 30  号： 13  ページ： 49-56  発行年： 1988年09月 
JST資料番号： F0571A  ISSN： 0366-8819  CODEN： DEGIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 銅箔表面にエッチングレジスト膜を形成し,パターン原画を密着さ...

シソーラス用語： プリント基板 ,...

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分類 (2件)： プリント回路  (NA05040O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 写真 ,  パターン形成 ,  テクニック