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J-GLOBAL ID：200902066942325420   整理番号：85A0010455

誘導結合プラズマ発光分析法による窒化けい素中不純物の定量

Determination of impurities in silicon nitride by inductively coupled plasma emission spectrometry.

著者 (3件)： 石塚紀夫 (名古屋工技試) ,  上みの義則 (名古屋工技試) ,  つ植明 (名古屋工技試)
資料名： 分析化学
巻： 33  号： 9  ページ： 486-490  発行年： 1984年09月 
JST資料番号： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化けい素粉末試料0.5gをテフロン加圧容器中でふっ化水素-...

シソーラス用語： プラズマ応用 ,...
準シソーラス用語： 誘導結合プラズマ発光分析

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分類 (1件)： 無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H)

引用文献 (12件)：

• 1) 石井正司, 倉成洋三, 志儀忠輔;“ファインセラミックス”, 柳田博明編, p.25(1982), (オーム社).
• 2) 伊藤紀子, 笹本 忠, 佐多敏之, 米屋勝利, 柘植章彦 : 窯協, 90,209(1982).
• 3) JIS R 1603, 窒化ケイ素粉末の分析方法(1984).
• 4) 成田貴一 : 日化, 79, 1564(1958).
• 5) 一ノ瀬昭雄, 永長久彦 : 窯協, 83,465(1975).

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘導結合プラズマ発光分析法 ,  窒化けい素 ,  不純物 ,  定量