文献

J-GLOBAL ID：200902067605726045   整理番号：81A0243742

偏光レーザーによるパターン付試料上の異物検査の自動化

著者 (5件)： 秋山伸幸 (日立生産技研) ,  大島良正 (日立生産技研) ,  小泉光義 (日立生産技研) ,  秋葉政邦 (日立武蔵工場) ,  長友宏人 (日立武蔵工場)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 17  号： 2  ページ： 237-242  発行年： 1981年04月 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体パターン欠陥の大部分を示める付着異物を自動的に検出する...

シソーラス用語： 半導体集積回路 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=81A0243742&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=S0104A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (4件)：

• 1) 須田匡, 他: 半導体プロセスにおける欠陥・微粒子のレーザによる検出, 電子材料, 103/109 (1977-9)
• 2) D. R. Oswald: A Laser Scan Technique for Electronic Surface Evaluation, J. of Electronic Materials, 3-1, 225/242 (1974)
• 3) 久保田広, 他: 光学技術ハンドブック, 1110/1117, 朝倉書店 (1968)
• 4) (たとえば) 田中克己: 顕微鏡の使い方, 194/198, 裳華房 (1975)

タイトルに関連する用語 (5件)： 偏光 ,  レーザー ,  試料 ,  異物検査 ,  自動化