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J-GLOBAL ID:200902067605726045   整理番号:81A0243742

偏光レーザーによるパターン付試料上の異物検査の自動化

著者 (5件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 237-242  発行年: 1981年04月 
JST資料番号: S0104A  ISSN: 0453-4654  CODEN: KJSRA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体パターン欠陥の大部分を示める付着異物を自動的に検出する...
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分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
引用文献 (4件):
  • 1) 須田匡, 他: 半導体プロセスにおける欠陥・微粒子のレーザによる検出, 電子材料, 103/109 (1977-9)
  • 2) D. R. Oswald: A Laser Scan Technique for Electronic Surface Evaluation, J. of Electronic Materials, 3-1, 225/242 (1974)
  • 3) 久保田広, 他: 光学技術ハンドブック, 1110/1117, 朝倉書店 (1968)
  • 4) (たとえば) 田中克己: 顕微鏡の使い方, 194/198, 裳華房 (1975)
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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