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J-GLOBAL ID：200902068212886241   整理番号：87A0018224

化学的に腐食したInP(111)上に生成したそのままの酸化物層の特性化

A characterization study of the native oxide layer formed on chemically etched InP (111).

著者 (2件)： HOFLUND G B (Univ. Florida, FL, USA) ,  CORALLO C F (Univ. Florida, FL, USA)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 9  号： 1/6  ページ： 319-323  発行年： 1986年07月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題の特性化をISS,AESおよび角度分解ESCAで行った。...

シソーラス用語： リン化インジウム ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学 ,  腐食 ,  InP ,  酸化物層 ,  特性化