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J-GLOBAL ID：200902068340389706   整理番号：93A0717315

プラズマプロセシング用誘導結合プラズマのレビュー

Review of inductively coupled plasmas for plasma processing.
著者 (1件)：
HOPWOOD J

HOPWOOD J について

(IBM Research Division, New York, USA)

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資料名：
Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)

Plasma Sources Science and Technology について


巻： 1  号： 2  ページ： 109-116  発行年： 1992年05月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
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標記について,特にプラズマ装置の現存する電磁場モデルを調べた...
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誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

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プラズマプロセシング

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分類 (2件)：
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プラズマ装置 
(BJ02082I)

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