反応性スパッタZnOへのO<sub>2</sub>の効果

AITA C R; PURDES A J; LAD R J; FUNKENBUSCH P D

文献

J-GLOBAL ID：200902069410136432 整理番号：81A0049239

反応性スパッタZnOへのO₂の効果

The effect of O₂ on reactively sputtered zinc oxide.

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資料名：
巻： 51 号： 10 ページ： 5533-5536 発行年： 1980年10月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Ar/O₂ガス混合物を用いたZnOター...

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スパッタリング , 酸化物薄膜

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反応性スパッタZnOへのO2の効果

反応性スパッタZnOへのO₂の効果