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J-GLOBAL ID:200902069650733799   整理番号:92A0371917

高速・高精度位置決めステージの開発

Development of Ultra-precision Positioning Stage.
著者 (8件):
資料名:
巻: 69th  号: Pt C  ページ: 542-544  発行年: 1992年03月 
JST資料番号: X0588A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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多孔質静圧軸受案内,リニアモータ駆動方式の非接触ステージを考...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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工作機械要素,ジグ,チャック 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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