文献

J-GLOBAL ID：200902069650733799   整理番号：92A0371917

高速・高精度位置決めステージの開発

Development of Ultra-precision Positioning Stage.

著者 (8件)： 崎野茂夫 (キャノン) ,  小山内英司 (キャノン) ,  酒井利一 (キャノン) ,  山本碩徳 (キャノン) ,  山根幸男 (キャノン) ,  小野一也 (キャノン) ,  堆浩太郎 (キャノン) ,  鎌田重人 (キャノン)
資料名： 日本機械学会通常総会講演会講演論文集  (日本機械学会通常総会講演会資料集)
巻： 69th  号： Pt C  ページ： 542-544  発行年： 1992年03月 
JST資料番号： X0588A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多孔質静圧軸受案内,リニアモータ駆動方式の非接触ステージを考...

シソーラス用語： 位置決め装置 ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (2件)： ステージ ,  開発