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J-GLOBAL ID:200902069807044046   整理番号:92A0778815

有機溶液からダイヤモンド相炭素膜を成長させる試み

Attempt to grow diamond phase carbon films from an organic solution.
著者 (1件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 3368-3370  発行年: 1992年09月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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有機溶液を用いて50°C以下のSi基板上にダイヤモンド相炭素膜...
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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