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J-GLOBAL ID：200902069871748375   整理番号：92A0773656

電子ビームテスタによるLSI内部診断技術

Fault Diagnostic Technology for LSI circuits by E-beam Tester.
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著者 (2件)：
白川千洋

白川千洋 について

(NTT LSI研)

NTT LSI研 について

, 
久慈憲夫

久慈憲夫 について

(NTT LSI研)

NTT LSI研 について


資料名：
NTT R & D  (NTT R & D)

NTT R & D について


巻： 41  号： 10  ページ： 1221-1232  発行年： 1992年10月 
JST資料番号： F0137A  ISSN： 0915-2326  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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LSI内部の故障診断の手段として,動作状態にあるLSIチップ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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LSI【IC】

LSI【IC】 について

,...
準シソーラス用語：
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電子ビームテスタ

電子ビームテスタ について


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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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電子ビーム

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テスタ

テスタ について

, 
LSI

LSI について

, 
診断技術

診断技術 について


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