GEISLER M について
LEYBOLD AG, Hanau, DEU について
KIESER J について
SIEMENS AG, Erlangen, DEU について
RAEUCHLE E について
Univ. Stuttgart, DEU について
WILHELM R について
MPIf. Plasmaphysik, Garching, DEU について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
マイクロ波 について
薄膜成長技術・装置 について
プラズマ生成・加熱 について
マイクロ波 について
電子サイクロトロン共鳴加熱 について
プラズマ源 について