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J-GLOBAL ID:200902070185268390   整理番号:88A0502418

表面計測学の新しい計測技術 I 触針法,電子顕微鏡および非光学式コンパレータ

Modern measurement techniques in surface metrology. Part I. Stylus instruments, electron microscopy and non-optical comparators.
著者 (2件):
資料名:
巻: 125  号:ページ: 271-288  発行年: 1988年08月01日 
JST資料番号: E0377A  ISSN: 0043-1648  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 

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