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J-GLOBAL ID：200902070217622492   整理番号：92A0633956

Deep-UV resists with improved delay capabilities.

著者 (3件)： FUNHOFF D J H (BASF AG, Ludwigshafen, DEU) ,  BINDER H (BASF AG, Ludwigshafen, DEU) ,  SCHWALM R (BASF AG, Ludwigshafen, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 1672  ページ： 46-55  発行年： 1992年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)