静電的に駆動するマイクロメカニカル2×2光スイッチ

HOGARI K; MATSUMOTO T

文献

J-GLOBAL ID：200902070737587568 整理番号：91A0453660

静電的に駆動するマイクロメカニカル2×2光スイッチ

Electrostatically driven micromechanical 2×2 optical switch.

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巻： 30 号： 10 ページ： 1253-1257 発行年： 1991年04月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

小型で低駆動パワーという利点をもつ新しい静電駆動マイクロメカ...

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その他の光伝送素子

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