低温熱酸化によるチップの微細型加工

AKAMINE S; QUATE C F

文献

J-GLOBAL ID：200902071651996950 整理番号：93A0058862

低温熱酸化によるチップの微細型加工

Low temperature thermal oxidation sharpening of microcast tips.

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巻： 10 号： 5 ページ： 2307-2310 発行年： 1992年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

走査型プローブ顕微鏡のチップは普通Siウエハのピットを型にし...

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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 , 顕微鏡法

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