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J-GLOBAL ID：200902072714623713   整理番号：91A0155942

マグネトロンスパッタ蒸着法で作製した硬質耐摩耗Ti_0.5Al_0.5N皮膜の耐酸化性

Oxidation resistance of hard wear resistant Ti_0.5Al_0.5N coatings grown by magnetron sputter deposition.

著者 (1件)： MUENZ W-D (Hauzer Techno Coating Europe bv, Venlo)
資料名： Materials and Corrosion  (Materials and Corrosion)
巻： 41  号： 12  ページ： 753-754  発行年： 1990年12月 
JST資料番号： E0386A  ISSN： 0947-5117  CODEN： MTCREQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti_0.5Al<sub>0.5</su...

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,...

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分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (7件)： マグネトロン ,  スパッタ蒸着法 ,  作製 ,  硬質 ,  耐摩耗 ,  皮膜 ,  耐酸化性