文献
J-GLOBAL ID：200902072831925798   整理番号：87A0055782

透明薄膜材料の微小凹凸検査装置

Automatic defect inspection system for transparent material.
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著者 (5件)：
土井秀明

土井秀明 について

(日立 生産技研)

日立 生産技研 について

, 
原靖彦

原靖彦 について

(日立 生産技研)

日立 生産技研 について

, 
小泉光義

小泉光義 について

(日立 生産技研)

日立 生産技研 について

, 
野沢悠夫

野沢悠夫 について

(日立 茂原工場)

日立 茂原工場 について

, 
金井紘美

金井紘美 について

(日立 茂原工場)

日立 茂原工場 について


資料名：
自動制御連合講演会前刷

自動制御連合講演会前刷 について


巻： 29th  ページ： 647-648  発行年： 1986年 
JST資料番号： F0989B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
磁気バブルメモリ用ウエハとして用いられるLPE膜は,GGG基...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ウエハ【IC】

ウエハ【IC】 について

,...
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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
磁気バブルデバイス 
(NC03140P)

磁気バブルデバイス について

,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
(AD05020O)

長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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薄膜材料

薄膜材料 について

, 
微小凹凸

微小凹凸 について

, 
検査装置

検査装置 について


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