りん化インジウムの熱酸化物の組成と構造

NELSON A; GEIB K; WILMSEN C W

文献

J-GLOBAL ID：200902074598941250 整理番号：84A0287629

りん化インジウムの熱酸化物の組成と構造

Composition and structure of thermal oxides of indium phosphide.

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巻： 54 号： 7 ページ： 4134-4140 発行年： 1983年07月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

熱酸化と成長温度(400-700°C)の関係を,X線光電子分...

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酸化物薄膜

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