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J-GLOBAL ID:200902074745748754   整理番号:90A0846346

SiH4とCH4のH2希釈された混合体から作ったa-Si1-xCx膜の電子的および光学的性質

Electronic and optical properties of a-Si1-xCx films prepared from a H2-diluted mixture of SiH4 and CH4.
著者 (3件):
資料名:
巻: 62  号:ページ: 213-223  発行年: 1990年08月 
JST資料番号: H0004B  ISSN: 1364-2812  CODEN: PMABDJ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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H2で希釈した場合と希釈しない場合の標...
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分類 (1件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
非晶質・液体半導体の電気伝導 

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