CF<sub>4</sub>/ArプラズマのCFとCF<sub>2</sub>の光量測定

KISS L D B; NICOLAI J-P; CONNER W T; SAWIN H H

文献

J-GLOBAL ID：200902074917082486 整理番号：92A0363365

CF₄/ArプラズマのCFとCF₂の光量測定

CF and CF₂ actinometry in a CF₄/Ar plasma.

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資料名：
巻： 71 号： 7 ページ： 3186-3192 発行年： 1992年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

13.56MHz rfCF₄/Ar放電...

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プラズマ診断

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CF4/ArプラズマのCFとCF2の光量測定

CF₄/ArプラズマのCFとCF₂の光量測定