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J-GLOBAL ID：200902075088808357   整理番号：84A0282740

反射レーザー光広がりによる金属表面粗さ形状のモニタリング

著者 (3件)： 安達正明 (兵庫県工試) ,  稲荷隆彦 (三菱電機応用機器研) ,  亀井光仁 (三菱電機応用機器研)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 20  号： 6  ページ： 536-541  発行年： 1984年06月 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： He-Neレーザを光源,放電加工表面を測定対象としてFFTコ...

シソーラス用語： 光反射 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (10件)：

• 1) H. Fujii and T. Asakura: Roughness Measurements of Metal Surfaces Using Laser Speckle, J. O. S. A, 67-9, 1171/1176 (1977)
• 2) H. Fujii, T. Asakura and Y. Shindo: Measurement of Surface Roughness Properties by Using Image Speckle Constrast, J. O. S. A, 66-11, 1217/1222 (1976)
• 3) M. Giglio, S. Musazzi and U. Perini: Surface Roughness Measurement by Means of Speckle Wavelength Decorrelation, Opt. Commun, 28-2, 166/170 (1979)
• 4) 内田, 佐藤, 大堀: 光切断法による二次元表面粗さ計測に関する研究, 日本機械学会論文集, 46-407, 771/780 (1980)
• 5) B. J. Pernick: Surface Roughness Measurements with an Optical Fourier Spectrum Analyzer, Appl. Opt., 18-6, 796/801 (1979)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー光 ,  広がり ,  金属表面 ,  粗さ ,  モニタリング