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J-GLOBAL ID:200902075503812071   整理番号:88A0121443

マイクロ波イオン源とICBシステムを同時に使用するアルミニウムの窒化膜と酸化膜の形成

Aluminum nitride and oxide film formation by the simultaneous use of a microwave ion source and an ICB system.
著者 (4件):
資料名:
ページ: 33-38  発行年: 1987年 
JST資料番号: K19870580  ISBN: 0-905941-18-7  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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標記イオン源とイオン化クラスタビーム(ICB)システムを同時...
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酸化物薄膜 
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