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J-GLOBAL ID：200902076483211102   整理番号：88A0360777

空気中でポリイミドのエキシマレーザによるエッチングで生成された黒色沈着物のCO₂レーザによる浄化

CO₂ laser cleaning of black deposits formed during the excimer laser etching of polyimide in air.

著者 (2件)： KOREN G (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA) ,  DONELON J J (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名： Applied Physics. B. Lasers and Optics  (Applied Physics. B. Lasers and Optics)
巻： 45  号： 1  ページ： 45-46  発行年： 1988年01月 
JST資料番号： E0501B  ISSN： 0946-2171  CODEN： APBOEM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題について述べた。10.6μmのレーザ光は黒色跡にはよく吸...

シソーラス用語： ポリイミド ,...

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分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 空気中 ,  ポリイミド ,  エキシマレーザ ,  エッチング ,  黒色 ,  沈着物 ,  CO2レーザ ,  浄化