PALMOUR J W について
North Carolina State Univ. について
DAVIS R F について
North Carolina State Univ. について
WALLETT T M について
Lewis Research Center National Aeronautics and Space Administration, Ohio について
BHASIN K B について
Lewis Research Center National Aeronautics and Space Administration, Ohio について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
炭化ケイ素 について
四ふっ化炭素 について
固体デバイス製造技術一般 について
混合気 について
SiC について
ドライエッチング について