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J-GLOBAL ID：200902076740143350   整理番号：88A0592328

ノボラック樹脂に対する新しい溶解抑制剤としてのオニウム塩カチオン性光開始剤の評価

Evaluation of onium salt cationic photoinitiators as novel dissolution inhibitor for novolac resin.

著者 (2件)： ITO H (IBM Research Division, CA, USA) ,  FLORES E (IBM Research Division, CA, USA)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 135  号： 9  ページ： 2322-2327  発行年： 1988年09月 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ノボラック樹脂に対する新しい部類の溶解抑制剤として,トリアリ...

シソーラス用語： リソグラフィー ,...
準シソーラス用語： ヨードニウム ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： ノボラック樹脂 ,  溶解 ,  抑制剤 ,  塩 ,  カチオン ,  光開始剤 ,  評価