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J-GLOBAL ID：200902078177589137   整理番号：87A0309969

ワークステーションによる電子ビーム試験装置のソフトウエア統合

Software integration in a workstation-based e-beam tester.

著者 (5件)： CONCINA S (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  LIU G (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  LATTANZI L (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  REYFMAN S (Sentry-Schlumberger, CA, USA) ,  RICHARDSON N (Sentry-Schlumberger, CA, USA)
資料名： Proceedings. International Test Conference  (Proceedings. International Test Conference)
巻： 1986  ページ： 644-649  発行年： 1986年 
JST資料番号： E0211B  ISSN： 1089-3539  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)によるVLSIチップ試験装置を開発し...

シソーラス用語： ワークステーション ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： ワークステーション ,  電子ビーム試験 ,  ソフトウエア ,  統合