薄膜中の機械的ひずみの簡単な決定法とそのポリシリコンへの適用

GUCKEL H; RANDAZZO T; BURNS D W

文献

J-GLOBAL ID：200902078878274831 整理番号：85A0422598

薄膜中の機械的ひずみの簡単な決定法とそのポリシリコンへの適用

A simple technique for the determination of mechanical strain in thin films with applications to polysilicon.

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巻： 57 号： 5 ページ： 1671-1675 発行年： 1985年03月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

内部圧縮性ひずみ場をもつ膜を加工して作った静置二端支持のマイ...

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固体の機械的性質一般 , 固体デバイス製造技術一般

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