モールド化された真空紫外線ポータブル(portable),コンホーマブル(conformable),マスク系

LIN B J; CHAO V W; PETRILLO K E; YANG B J L

文献

J-GLOBAL ID：200902079051553788 整理番号：87A0036229

モールド化された真空紫外線ポータブル(portable),コンホーマブル(conformable),マスク系

A molded deep-UV portable conformable masking system.

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資料名：
巻： 26 号： 16 ページ： 1112-1115 発行年： 1986年09月
JST資料番号： C0640A ISSN： 0032-3888 CODEN： PYESA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

第二世代の標題系を作成。改良点は(1)下層材料としてPMMA...

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その他の高分子の反応 , 固体デバイス製造技術一般

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