文献
J-GLOBAL ID:200902079486050966
整理番号:86A0489047
メタン-アルゴン混合気体中でのシリコンのマグネトロンスパッタリングにより水素化非晶質けい素-炭素系膜の作製における成膜の性質に対するスパッタリング時の圧力の影響
Influence of sputtering pressure on the properties of hydrogenated amorphous-silicon carbon alloy films prepared by magnetron sputtering of silicon in methane-argon gas mixtures.
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