位相をずらした一対の回折格子による粗および微調整

HOFER D C; NELSON JR D A

文献

J-GLOBAL ID：200902079951778289 整理番号：81A0143056

位相をずらした一対の回折格子による粗および微調整

Coarse and fine alignment using an out-of-phase pair of optical gratings.

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巻： 23 号： 7A ページ： 2996-2998 発行年： 1980年12月
JST資料番号： E0292B ISSN： 0018-8689 CODEN： IBMTA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

同周期の2枚の格子によるマスク合わせでは格子のピッチ毎に調整...

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固体デバイス製造技術一般

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